機器消耗品市場

商品NO	1838	商品名	真空蒸着装置	メーカー	（株）真空デバイス	管理	（株）真空デバイス
		型式	VE-2012	価格		商品問合せ
特徴	TMP を筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません。RP は床置き。小型 TMP＋RP の排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。複雑な排気操作を廃し、スイッチの ON／OFF のみのシンプルな操作系。タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。カーボン蒸着はシャープペンシル型替え芯をカーボンとして蒸着するクランプ蒸着銃タイプを使用。					カタログ
仕様	電源：ＡＣ１００V（単相１００V１５A）装置サイズ：Ｗ４００ｍｍｘＤ４２５ｍｍｘＨ５４６ｍｍ装置重量：２５ｋｇロータリーポンプ（外置）：Ｇ－５０ＤＡ、ポンプ重量１１ｋｇ排気系：ＴＭＰ６７ℓ/sec、ＲＰ５０ℓ/min 試料ステージ：直径７２ｍｍ蒸着源－試料台間隔：０ｍｍ～１４０ｍｍの範囲で調整可能
備考	φ5mm カーボンロッドは使用出来ません。ご購入の際に、カーボン蒸着電極、又は金属蒸着電極を選択致します。オプションにより、追加で電極の購入も可能です。			管理NO

外観写真	カーボン蒸着電極： Φ０．５ｍｍカーボン専用のカーボン蒸着電極です。高真真空領域でのカーボン蒸着を可能とし、膜質、膜強度に優れたカーボン成膜が可能です。付属の汚れ防止カバーにより、カーボン蒸着の飛散範囲を必要最低限に抑え、クリーニングの負担を軽減しております。カーボン蒸着源には、専用カーボンＳＬＣ－３０がお勧めです。	金属蒸着電極：タングステンバスケット専用の、金属蒸着電極です。金、アルミ、クロムなどの蒸着を、手軽に簡単に行うことが可能です。付属の汚れ防止カバーにより、蒸着範囲を最小限に抑え、クリーニングの負担も軽減しております。

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